無油隔膜真空泵通常利用隔膜的往復運動來吸入和排出氣體。隔膜將泵腔分為兩個部分，通過隔膜的移動來改變泵腔的體積，從而實現抽氣。具體來說，當泵啟動時，驅動機構使隔膜開始往復運動。隔膜向下移動時，泵體內的體積增大，內部壓力降低，入口閥門打開，外部氣體被吸入泵體內。而出口閥門關閉，防止泵體內的氣體逃逸。當隔膜向_上移動時，泵體內的體積減小，內部壓力升高，入口閥門關閉，防止外部氣體進入。而出口閥門打開,泵體內的氣體被排出到外部。無油隔膜真空泵的結構較為簡單，主要由隔膜、泵體、驅動機構、入口和出口閥門等部分組成。由于沒有潤滑油，所以不需要復雜的潤滑系統。在工作中不排放任何油霧、油污，能夠保障工作環境的潔凈，特別適合于對真空度要求不是特別高，但需要無油污染的場合，如實驗室、食品加工等領域。由于無油隔膜真空泵不需要油介質，因此不會在工作中產生高溫。泵體采用不易腐蝕的材料制造，能夠適應酸堿等復雜環境。由于沒有油管通道，因此操作簡便，維護簡單。但需要注意的是,雖然不需要定期更換或添加潤滑油，但隔膜可能需要定期更換。無油隔膜真空泵的真空度通常不是非常高，一般在幾十到幾百毫托之間，但這對于大多數實驗室應用已經足夠。泵的真空度取決于隔膜的運動頻率、泵的設計以及系統的泄漏情況。同時，由于無油隔膜真空泵的運動部件較少，且通常有減震設計，因此運行時噪音較低。
綜上所述，無油隔膜真空泵確實不需要潤滑油，這使其在多個領域具有廣泛的應用前景。